专利名称：安全检测装置及晶圆修边机专利类型：实用新型专利
发明人：刘博佳,王海宽,吴龙江,林宗贤申请号：CN201821356921.1申请日：20180822公开号：CN208645079U公开日：20190326
摘要：本实用新型涉及一种安全检测装置及晶圆修边机，包括温度检测器、转速检测器、控制器及电磁开关；通过温度检测器及转速检测器分别检测晶圆修边机的研磨刀的温度及转速，控制单元接收并分析温度信号及转速信号，以判断是否发出控制信号给电磁开关控制安全门的开启，从而可以阻止人为过早的开启安全门，导致因研磨刀的转动没有停止或因研磨刀转动产生的余温对人体造成伤害。
申请人：德淮半导体有限公司
地址：223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
国籍：CN
代理机构：上海思捷知识产权代理有限公司
代理人：王宏婧
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