平面度測量是指被測實際表面對其理想平面的變動量。平面度誤差是將被測實際表面與理想平面進行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值
二、理想平面計算方式 -- 迴歸分析（Regression）：
迴歸分析原理
a. 目的在於找出一條最能夠代表所有觀測資料的函數（迴歸估計式).
b。 用此函數代表因變數和自變數之間的關係
三、TRI 7700Q平面度量測範例：
在平面上取得16個點的X, Y座標與Z絕對高度數據如下，
利用回歸分析算出理想平面函數： a0+a1*X+a2＊Y = Z
得到三個參數a0, a1, a2,
將X, Y座標帶入理想平面公式, 得到每一點的理想平面高度Zs= a0+a1*X+a2＊Y 計算所有點的(原始高度—理想平面高度）得到差值Z—Zs=delta,
平面度結果即為Flatness=MAX(delta)-MIN（delta)
平整度數據與趨勢圖
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